鋒全應材(F+)提供從材料到模組的一站式「陶瓷模組代工」服務,整合粉體配方、成形、燒結、精密加工、表面工程與高溫鍵合,協助客戶以更短時程,將概念設計落地為可量產的高可靠度產品。服務對象涵蓋半導體前段製程設備、真空與精密機械、量測檢測與光學等領域,我們以工程數據為本,兼顧性能、成本與交期,打造具競爭力的在地供應鏈選項。

服務範圍
• 陶瓷基座/承載平台:含加熱、吸附、定位等功能模組。
• 微孔真空吸附平台:依應用設計孔徑分佈與區域化開孔。
• ESC/加熱模組周邊件:電極層製作、介面鍵合、表面塗層與翻修升級。
• 特殊功能件:導電/抗靜電、耐磨耐蝕、光學保護等複合陶瓷零組件。

核心能力與製程
• 粉體與配方:相組成與粒徑分佈客製,平衡機械、熱與電性。
• 成形技術:CIP等靜壓與多樣模具方案,支援薄壁與複雜結構。
• 脫脂與燒結:多段曲線管理收縮與晶粒,建立批次追溯。
• 精密加工:磨削、研磨、拋光與微細特徵加工,兼顧尺寸與表面品質。
• 表面工程:拋光、蝕刻、塗層與改質,提升耐磨、潔淨與電性表現。
• 高溫鍵合/共燒:含預燒貼合(sandwich)與co-firing,整合功能層與電極層。
• 檢測驗證:密度、硬度、抗彎、電阻、導熱、粗糙度與顯微結構評估,形成設計—製程—量測閉環。

材料與規格選項
• 材料系:ZTA、SiC、AlN、YAG 等工程陶瓷;導電/ESD 控制複合配方。
• 結構尺度:支援大型平台與薄型件,平整度、平行度與平面粗糙度依規格客製。
• 微孔設計:孔徑分佈、階梯孔與分區吸附可客製,兼顧吸附力與結構強度。
• 表面特性:親疏水、抗污染、耐蝕與耐磨等機能化處理。

設計共創(DFM/DOE)
我們自需求定義即介入,與客戶共同完成材料選型、結構設計、製程路徑與治具規畫;以DOE縮短迭代、用DFM確保可製造性,並提供原型打樣、耐久試驗與失效分析(FA),讓決策建立於可追溯的工程數據。

品質與文件化管理
三層級品質控管(來料/製程/出貨)、樣本留存與追溯;工程變更(EC)與FAI節點化管理,附完整量測報告、製程紀錄與關鍵物料BOM/工藝路徑文件,確保從樣品到量產的一致性。

典型應用
半導體蝕刻/薄膜/離子製程平台與載具、CMP周邊、真空傳輸與定位治具、高精度量測夾治具、光學窗口與保護構件等。

合作流程
RFQ與NDA → 需求澄清與規格凍結 → 可行性評估與報價 → 打樣與驗證 → 小量試產(試量產)→ 量產導入 → 維保、翻修與升級支援。全程提供里程碑計畫、風險評估與驗證清單,並配合客戶體系完成來料認證。

交付與在地支援
以新竹香山廠為核心,串接在地供應鏈與彈性產能,支援少量多樣、快速迭代與備援策略;同時提供模組翻修與在地化替代方案,降低維護成本與交期風險。

行動呼籲
若您需要陶瓷加熱/吸附平台、微孔真空治具、ESC相關模組或功能零組件之代工開發,歡迎與鋒全應材聯繫。請提供目標規格、使用環境與關鍵尺寸/公差需求,我們將以工程數據與可量產方案,協助您加速產品導入。