YAG釔鋁石榴石陶瓷 / 極致純淨、耐電漿轟擊巔峰 / 次世代半導體蝕刻製程的終極耐蝕解答
氧化釔Y2O3(Yttria) / 耐蝕至尊、半導體超高功率電漿專用 / 突破次世代半導體蝕刻極限的終極耐電漿材料